產(chǎn)品名稱: 美國Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器

型號系列:OG-5000系列

品牌:Teledyne API

產(chǎn)地:美國

價格:**終成交價格需聯(lián)系客服

訂貨號:OG-5000系列

Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器概述:

 OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。

OG-5000系列設(shè)計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。??

Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器特征:

高純度臭氧
高臭氧濃度
價格低
無消耗品
設(shè)計緊湊，模塊化
經(jīng)過驗證的技術(shù)

Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器應(yīng)用:

半導(dǎo)體
化學(xué)氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
粒子清潔
光刻膠去除
灰化
其他

Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器規(guī)格:

 

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