產(chǎn)品名稱：終端閥組
品牌：spectron
產(chǎn)地：德國
型號(hào)：EES55-1-VCR

EES55-1-VCR終端閥組德國spectron產(chǎn)品特性

•終端閥組適用于純度6.0以上的腐蝕性氣體或混合氣體
•控制精度高
•減壓閥為綁定式膜片結(jié)構(gòu)
•軌道焊接的VCR接頭
•可用于真空條件
•可選手動(dòng)或氣動(dòng)膜片截止閥：
 -工藝氣體入口（TPI）
 -吹掃氣體入口（SPI）
 -吹掃氣體出口（SPV）
 -工藝氣體出口（TPO）
•100％氦氣泄漏檢測
•在等級(jí)ISO 5.0的潔凈室中進(jìn)行組裝

EES55-1-VCR終端閥組德國spectron技術(shù)參數(shù)

進(jìn)氣壓力 P?：** 50 bar
出氣壓力 P?：** 1,5 / 4 / 10 bar
材料：閥體:不銹鋼 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它與氣體接觸零件: 不銹鋼 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度 (氣體接觸部分)：Ra,** ≤ 0,25 µm：泄漏率：(對(duì)外): 1 x 10?? mbar l/s He
(對(duì)內(nèi)): 1 x 10?? mbar l/s He
C?-值：0,24 (kv = 0,2)
溫度范圍：-20°C 到 +60°C
重量：2,4 ... 5,0 kg

 

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