產品名稱：三路吹掃模塊
品牌：spectron
產地：德國
型號：SBE3

三路吹掃模塊用于與超高純、強腐蝕或有毒氣體，配有專用惰性氣體吹掃裝置

德國spectron三路吹掃模塊(SBE3)產品特性：

•三路吹掃模塊用于與超高純、強腐蝕或有毒氣體，配有專用惰性氣體吹掃裝置
•**小的吹掃空間，只有 1,4 cm³
•集成毛細管（非常少的吹掃次數(shù)）
•被污染的吹掃氣體可以通過廢氣排放閥排出，不混入下游供氣系統(tǒng)
•在吹掃氣入口和卡套接頭處配有止回閥
•可氣動截止閥（可選）
•可選
 壓力表（用于低蒸氣壓氣體）
 壓減壓閥（安裝在吹掃模塊上）或
 壓力控制面板（帶高壓盤管）
•適用于ECD應用

德國spectron三路吹掃模塊(SBE3)技術參數(shù)：

進氣壓力 P?：** 300 bar
材料：閥體:不銹鋼 316L
膜片: 哈氏合金 C276
閥座: PCTFE or PVDF
進-出氣：1/4"-NPT-F
泄漏率：1 x 10?? mbar l/s He
C?-值：0,13
重量：1,6 kg

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